■用途
●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
●分析機器、理化学機器。
●半導体検査装置。
●デバイス組立。
●自動機、包装機。

■特長
●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
●シンプル構造でメンテナンスも容易です。

■仕様
●排気速度(L/min)50/60Hz:75/85
●到達圧力(Pa):13.3×10[[の3乗]]
●吸気口径(mm):12
●電源(V):単相100
●寸法(mm):181×336.5×217
●騒音値(dB):-
●サーマルプロテクタ付
●低速低圧用

■注意事項
●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にす


Copyright (C) 独特の上品 ULVAC DA81S 100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ-その他.